99-02-08
原子能委員會核能研究所電漿工程實驗室新開發了三種先進之電漿被覆技術，依功效：其一大幅提昇塑膠射出製造業核心工具[螺桿]之耐磨抗蝕能力；其二有效替代了溼法非環保電鍍鎘製程，避免鎘毒害造成環境污染；其三建立了觸控面板產業關鍵原料[可撓式透明導電膜]產業製造自主解決方案。由於電漿被覆為一清潔製程，兼顧了環境保護的責任。 傳統塑膠射出成型製造業以[螺桿]擠壓熔融塑膠等化合物原料，易受磨損及腐蝕，壽命有限，經由一種最新開發成功[高功率脈衝](瞬間能產生極高能量密度)電漿被覆技術，使螺桿表面包覆一層極為細緻兼具極強附著性之陶瓷膜，強化螺桿耐磨兼抗蝕性能，壽命提昇達3倍以上，遠優於現行任何表面處理技藝之功效，可大幅提昇生產效益；另外傳統航太工業，迫緊用螺栓、螺帽等組件，長期以來採電鍍方法包覆鎘金屬層，扺抗與與其他金屬緊扣後引起接觸腐蝕效應。鎘污染對環境之毒害，眾所皆知。一種新型電漿鍍鋁(用電漿輔助金屬蒸氣覆蓋一層厚鋁金屬膜)具有同樣扺抗接觸腐蝕的功能，本所已通過MIL-83488C軍規驗証，可有效解決鎘毒害之環保問題；至於目前正夯之面板產業核心關鍵性高功能原料[可撓式透明導電膜]具備高透光及高導電性，大部份從國外進口，本所發展出室温下捲撓式電漿被覆之銦錫氧化物薄膜(ITO-film)，透光度及電阻性符合市場要求，且整體技術自主，大幅降低生產成本。 原子能委員會核能研究所長期以電漿為媒介開發符合環保之表面工程技藝，迄今已有20部以上工業級電漿被覆機組授權民生工業運用，如建材、衛浴器材及五金配件等裝飾兼保護層之電漿被覆，頗受好評。鑒於初期技術功能限制，許多產業仍無法運用，故近年開發了以上三種更先進電漿被覆技術，可使更多的產業受惠。無論何種技術，核研所均掌控整體產業線解決方案，包括上游電漿產生技術、中游電漿被覆裝置及製程、以及下游產品產出，一氣呵成。未來仍將不斷配合社會脈動，發展更新穎實用之整體解決方案，期許輔導更多本土產業技術升根，亦對環境保護作出更大之貢獻。 【新聞小辭典】 1.電漿；電漿被覆；捲撓式電漿被覆：自然界物質除了固態、氣態、液態外還有第四態即是電漿態，是由一群電子、離子、中性及活性粒子組合氣態狀結合體，因具有能量，會發出光茫。自然界太陽、閃電等景觀即為電漿態。人造電漿可經由氣體放電產生，日常生活最常見螢光燈，電漿電視即是一例。任何物質經由氣體放電均可形成電漿態，將此電漿態中之元素覆著於物體表面即為電漿被覆，為一乾式製程，非常環保。若軟式物件欲作電漿被覆處理，如各種成捲塑膠膜，必須捲進捲出方式運作，即為捲撓式電漿被覆。 2.銦錫氧化物薄膜(ITO-film)：在玻璃基板覆著不同銦錫金屬成份混合比例組成之氧化物薄膜，既透明又具有導電性，在光電面板產業中不可缺，如液晶顯示器及手機等面板等。但對觸控螢幕面板，則採用在軟性透明塑膠基材覆著此種層膜，仍具透光及導電功能，此已被覆銦錫氧化物之可撓式透明導電膜基材統稱ITO-film。 3.MIL-83488C：一種針對航太零組件保護層扺抗鹽霧腐蝕環境試驗要求之軍規規範。 4.接觸腐蝕：不同金屬長期接觸，因化學電位不同引起接觸部位快速之侵蝕。
